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VBF-1200X 1200℃小型井式炉( 9 L)
面议VBF-1200X-H8 1200℃小型水平真空坩埚炉(40L)
面议MSK-5070-AC 大功率金属冷轧机
面议MSK-5090-AC 22KW大型精密金属冷轧机
面议OTF-1200X-II-PEC4 1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统
面议OTF-1200X-III-R5-PECVD 1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统
面议OTF-1200X-S-II-4CV-PE 1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统
面议OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统
面议ALD-1200X-R-4 ALD回转炉系统
面议温控型感应加热/熔炼系统,带进料前级系统和熔炼搅拌装置。石英前级腔室可将各种原材料导入到熔炼坩埚内,而不影响主腔室的环境。
性能指标和基本配置 | ||
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型号 | SP-50KT | SP-85KTC |
感应电源 | ● 工作电压:380V,50Hz,三相 | |
温控系统和热电偶 | ● 精密数显温控系统,采用PID调节方式 | |
石墨坩埚,耐火材料和防护罩 |
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● ·高纯石墨坩埚:50mm(内径) * 40mm(外径) *110mm(深),坩埚是用来感应加热和熔化金属 | ● 高纯石墨坩埚:114mm(内径) * 100mm(外径) *142mm(深),坩埚是用来感应加热和熔化金属 | |
● 容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2 | ● 容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2 | |
● 可熔炼物料的质量:最多0.6Kg(按纯铁的密度计算) | ● 可熔炼物料的质量:最多4Kg(按纯铁的密度计算) | |
● 可选:为对晶片热处理,可定制石墨样品台,可放置晶片尺寸为1.5''O.D * 1/8''T,因为石墨导热率非常高,所以可使放置的晶片受热均匀 | ||
● 保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃) | ● 保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃) | |
● 注意: 石墨坩埚是易耗件 | ● 注意: 石墨坩埚是易耗件 | |
密封法兰和石英腔体 |
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● 两端开口的石英管尺寸:130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L) | ● 两端开口的石英管尺寸: 216 mm(OD) * 208 mm(ID) * 500mm(L) | |
● 顶部法兰: 采用不锈钢铰链法兰,带有一1/4”的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀 | ● 顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰,带有一1/4”的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀 | |
● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接 | ● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接 | |
● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管,以便与真空泵相连接 | ● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管,以便与真空泵相连接 | |
真空计 | ● 防腐真空计,测量范围3.8*10E-5托 | |
浮子流量计 | 紧凑型直读浮子流量计,100-1000scc/min。精度:4%。 | |
泄压阀 | 为了安全考虑,在腔体内安装泄压阀,当压力大于0.02MPa时,阀门会自动释放压力,保证安全。 | |
循环水冷机(选配) | ● 温度范围:5~30℃ | |
真空泵(选配) | ● 标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵 | |
产品尺寸 | 整体机器外形尺寸:700(L)* 1300(W)* 1200(H) | |
净重 | 100Kg | |
应用 | ● PVT(物理蒸气运输)系统通过改变一个合适的坩埚,使其能够成为生长长型碳化硅晶体,请点击下面的图片或问我们的工程师如何 | |
注意事项 | ● 为了保护石墨坩埚和C热电偶,在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM | |
认证 | 如果客户需要通过MET认证,需自行支付认证费用,具体价格请联系我们的销售代表 | |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |