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菲希尔台式贵金属元素分析仪荧光镀层测厚仪
主要技术指标:(标★为重要参数)1、测量原理:X射线荧光光谱法测量镀层厚度2、测量方式:无损检测,可自动聚焦3、元素测量范围: Cl(17)--U(92),多可测量24种元素23层镀层。★4、手动X/Y平台,移动范围≥95x150mm,可用工作台面≥420x450mm5、电动Z轴,手动/自动聚焦,可移动范围≥140mm★6、采用DCM(测量距离补偿法)可远距离对焦测量腔体样品,可达80mm深度★7、满足可变高压30KV,40KV,50KV三种可调节,以满足不同的测试需求。★8、准直器:φ0.3的圆形准直器9、X射线探测器:比例接收器10、统计计算:数据组带时间和时期功能,统计功能包含平均值、标准偏差、大值、小值等;还可输入公差范围,计算CP和Cpk值,超范围值时仪器应有自动报警提示功能11、windows7以上中文操作界面,WinFTM专业测试软件,具备连接PC和打印机的USB借口★12、测量误差:镀层厚度≥0.5um时,顶层镀层测量精度≤5%★13、采用基本参数法,内置1
菲希尔台式贵金属元素分析仪荧光镀层测厚仪
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