分辨率
高真空模式(二次电子)
低真空(背散射电子) | 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV) - | 工作真空
高真空模式
低真空模式 |
＜9×10-3Pa
- | | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/摇摆电子束 | | 放大倍率 | 3x-1,000,000x | | 加速电压 | 200V至30KV | | 电子枪 | 钨灯丝 | | 探针电流 | 1pA至2μA | | 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 | | 聚焦窗口 | 形状、尺寸和位置连续可调 | | 扫描特性 | 动态聚焦，点和线扫描，倾斜校正，3D Beam | | 图象尺寸 | 可达8192×8192象素，可单独调整为动态图象（4种）和存档的图象（10种），图象比例可选1：1、4：3或2：1 | | 显微镜控制 | 通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 | | 自动程序 | 真空控制，灯丝加热，电子枪合轴，扫描模式对中，加速电压改变的补偿，化束斑大小和探针电流，化放大倍率和束斑大小，扫描速度，亮度和对比度，聚焦和消像散，灰阶观察表格. | | 远程控制 | 通过TCP/IP | | | 样品室 | | 内部尺寸 | 300mm宽×330mm深 | | 门宽 | 280mm宽×310mm深 | | 接口数量 | 11+ | | 样品室减震方式 | 气垫（可选配内置主动式气垫减震） | | | | 样品载台 | | 类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动 旋转：360°连续可调——马达驱动 倾斜：-20°到+90°——马达驱动 | | 样品高度 | 143mm | | | | | 软件 | | 测量软件 | | 图象操作 | | 图象处理 | | 3D扫描 | | 硬度 | | 多图校正 | | 目标面积 | | 打印放大倍率 | | 关机定时器 | | 公差 | | | | 形态 | | 颗粒度分析 | | 自动抓图 | | 图象观测 | | 电子束写入 | | 鼠标连接 | | | | ● | | ● | | ● | | ● | | ● | | ● | | ● | | ● | | ● | | ● | | | | ○ | | ○ | | ○ | | ○ | | ○ | | ○ | | | | ●标配 ○选配 | | | | |
