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主要特点:
高分辨观察
利用金颗粒保证0.144nm分辨率DF-STEM像(标准型)。
大束流分析
约为非校正的STEM探针电流的10倍,可以进行高速、高灵敏度能谱分析,可以在更短的时间内获得元素的面分布图,
使得检测微量元素成为可能。简化的操作
提供了专用的GUI自动调节球差校正器
整体的解决方案
样品杆与日立FIB兼容,提供了纳米尺度的整体解决方案,从制样到数据获得和最终分析
多种评价和分析功能可选
可同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像;可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得);
可以同时观察DF-STEM像和衍射像;可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)等。
应用领域:
HD-2700作为一款场发射球差校正的扫描透射电镜,不仅具有高分辨率的图像观察能力,同样具有高空间分辨率的分析能力,
配合EELS和EDS可以实现原子级元素的分析。HD-2700具有多种成像模式,可以满足大部分样品的观察需求,
其中日立*的SE成像模式可以获得透射电镜无法获得的样品表面的信息,同时又比普通扫描电镜具有更高的分辨率,可以实现对样品表面的高分辨观察。