主要特点：

高亮度场发射电子枪冷
冷场发射电子枪先天具有的高亮度和高能量分辨率的特点，使纳米量级分析研究成为可能，对超高分辨图像和电子全息摄影具有极大贡献。

300kV高压系统

300kV高压系统具有更高的穿透能力，保证了厚样品的原子分辨率图像，降低了样品制备难度，尤其对于金属、陶瓷等高原子序数样品的观测十分有利。

的分析能力
新引入了双重双棱镜全息摄影功能、高空间分辨率电子能量损失谱（EELS）和高精度平行纳米束衍射技术等的分析技术。

可与FIB联用样品杆
日立公司专有的样品杆可适应FIB、TEM和STEM的使用。

简便易用的控制系统
基于Windows开发的电脑控制系统、马达驱动可动光阑和5轴马达样品台使得仪器简单易用，10分钟的升压时间和1分钟的换样时间保证了仪器高效率的运转。