波前传感器

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2023-08-27 21:12:57
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上海羽宸光电科技有限公司

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产品简介

波前传感器

详细介绍

波前传感器

1.HASO4宽带

主要特点:

•全光谱范围校准在350 nm -1100nm

•λ/ 100精度超过600λ动态范围

•测量相位和强度,同时和独立

•内部微透镜阵列技术制造

•20Hz,全分辨率

•WaveView或HASO v3.2,行业最完整的软件包包括在内

•WaveKit (SDK of WaveView)兼容C,LabVIEW和MATLAB

详细参数:

描述

规格

孔径

7.0 x 5.2 mm²

微透镜数

68 x 50

倾斜动态范围

> ± 3° (600 λ)

聚焦动态范围

±0.018 m to ± ∞ (450 λ)

可重复性(rms)

< λ/200

模式下波前测量精度 (rms)

λbetween 350 and 600 nm

λbetween 600 and 1100 nm

< 6nm

< λ/100

空间分辨率

~ 105 µm

采集频率

20 Hz

外部触发

TTL signal

校准光谱范围

350-1100 nm

尺寸 / 重量

46x56x56 mmᵌ/150g

工作温度

15-30° C

接口 / 功耗

USB 3.0 / 2.9 W

Ethernet / 2.9 W

操作系统

Win XP, Win 7 (x86/x64)

2.HASO4 可见光

主要特点:

·10 nm rms精度在整个可见光谱(单色或多色)

·优化为大波长范围(400 – 700nm)

·测量相位和强度,同时和独立

·内部的微透镜阵列技术制造

·帧速率的100 Hz,全分辨率

·WaveView业界最完整的软件包包括在内

·WaveKit SDK兼容C,LabVIEW和MATLAB

·C-mount兼容入口孔径——外部触发功能

详细参数:

描述

全解析度

孔径

3.6 x 4.6 mm²

微透镜数

32 x 40

倾斜动态范围

> ± 3° (400 λ)

聚焦动态范围

± 0.018 m to ± ∞ (350 λ)

聚焦动态范围 - maximum NA

0.1

可重复性 (rms)

7.5 nm

模式下波前测量精度 (rms)

10 nm

倾斜测量灵敏度 (rms)

5 μrad

聚焦测量灵敏度(rms)

3·10-3m-1

空间分辨率

~ 110 μm

采集频率

100 Hz

工作波长范围

400 - 700 nm

扩展波长范围

not available

吃寸 / 重量

42x 42 x 42 mm /150g

工作温度

15 – 30° C

接口/ 供电电源

USB 3.0 / 2.7 W via USB

操作系统

Win 7 (x86 / x64)

WaveView metrology software

included

外触发器

yes

3.HASO4 FIRST

主要特点:

·λ/ 100精度超过400λ动态范围

·测量相位和强度,同时和独立

·内部的微透镜阵列技术生产

·帧率100 Hz为高速高分辨率或150 Hz为高速采集

·HASOv3,业界最完整的软件包包括在内

·核心引擎SDK HASOv3兼容的C + +,LabVIEW和MATLAB

·C-mount兼容入口孔径----外部触发功能

详细参数:

描述

全解析度

高速*

孔径

3.6 x 4.6 mm²

1.8 x 2.3 mm²

微透镜数

32 x 40

16 x 20

倾斜动态范围

> ± 3° (400 λ)

> ± 3° (200 λ)

聚焦动态范围

± 0.018 m to ± ∞ (350 λ)

± 0.018 m to ± ∞ (100 λ)

聚焦动态范围- maximum NA

0.1

0.1

可重复性 (rms)

< λ/200

< λ/200

相对模式下波前测量精度 (rms)1

~ λ/150

~ λ/150

模式下波前测量精度(rms)²

~ λ/100

~ λ/100

倾斜测量灵敏度(rms)

5 μrad

10 μrad

聚焦测量灵敏度 (rms)

3·10-3m-1

6·10-3m-1

空间分辨率

~ 110 μm

~ 110 μm

采集频率

100 Hz

160 Hz

工作波长范围

350 - 1100 nm

校准波长

in the 400-1100 nm range, details on request3

尺寸/重量

42x 42 x 42 mm /150g

工作温度

15 – 30° C

接口 / 供电电源

USB 3.0 / 2.7 W via USB

操作系统

Win XP, Win 7 (x86 / x64)

WaveView metrology software

included

外部触发器

yes

4.HASO3 32

主要特点:

•工作波长范围在400到1100纳米之间

•高分辨率- 1280独立测量点

•孔径尺寸4.9 x 6.1mm2

•相位和强度同时和独立测量

•真正的测量

•的精度和动态范围

详细参数:

描述

规格

孔径

4.9 x 6.1 mm²

微透镜数

32 x 40

倾斜动态范围

>±3° (520λ)

聚焦动态范围 - 最小局部曲率半径

20 mm

聚焦动态范围 - maximum NA

> 0.1

可重复性 (rms)

< λ/200

相对模式下波前测量精度(rms)1

~λ/150

模式下波前测量精度(rms)²

~λ/100

倾斜测量灵敏度 (rms)

3 µrad

聚焦测量灵敏度 (rms)

1·10-3 m-1

空间分辨率

~160 µm

采集评频率 (sequential acquisition)

50 Hz

处理频率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

20 Hz

工作波长范围

350 - 1100 nm

校准波长

A (400 - 600 nm), B (500 - 700 nm), C (630 - 900 nm), D (800 - 1100 nm)

扩展波长范围*

A+ (400 - 700 nm), B+ (500 - 900 nm), C+ (630 - 1100 nm)

尺寸/ 重量

75 x 62 x 68 mm / 510 g

工作温度

15 - 30° C

接口 / 供电电源

FireWire / 12 V / 6 W

操作系统

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外触发器

yes

5.HASO3 128 GE2

主要特点:

•工作波长范围在400到1100纳米之间

•分辨率- 16384独立测量点

•孔径尺寸14.6 x 14.6mm²

•相位和强度同时和独立测量

•真正的测量

•的精度和动态范围

•温度稳定为长期的测量

详细参数:

描述

规格

孔径

14.6 x 14.6 mm²

微透镜数

128 x 128

倾斜动态范围

>±3° (1500 λ)

聚焦动态范围 - 最小局部曲率半径

15 mm

聚焦动态范围 - maximum NA

> 0.1

可重复性 (rms)

< λ/200

相对模式下波前测量精度 (rms)1

~λ/150

模式下波前测量精度(rms)²

~λ/100

倾斜测量灵敏度 (rms)

<1 µrad

聚焦测量灵敏度(rms)

2.5·10-4 m-1

空间分辨率

~110 µm

采集频率(sequential acquisition)

7.5 Hz

处理频率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

5.0 Hz

工作波长范围

350 - 1100 nm

校准波长范围

A (400 - 600 nm), B (500 - 700 nm), C (630 - 900 nm), D (800 - 1100 nm)

扩展波长范围*

A+ (400 - 700 nm), B+ (500 - 900 nm), C+ (630 - 1100 nm)

尺寸 / 重量

115 x 51 x 60 mm / 400 g

工作温度

15 - 30° C

接口/ 供电电源

Giga Ethernet / 12 V / 6 W

操作系统

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外触发器

yes

6.HASO HP 16

主要特点:

•λ/ 200 rms的精度

•λ/ 300 rms的相对精度

•相位和强度同时和独立的测量

•真正的测量

•的精度和动态范围

•温度稳定为长期的测量

详细参数:

描述

规格

孔径

4.7 x 5.8 mm²

微透镜数

16 x 20

倾斜动态范围

>±3° (500λ)

聚焦动态范围 - 最小局部曲率半径

40 mm

聚焦动态范围- maximum NA

> 0.06

可重复性 (rms)

< λ/400

相对模式下波前测量精度(rms)1

~λ/300

模式下波前测量精度(rms)²

~ λ/200

倾斜测量灵敏度(rms)

1 µrad

聚焦测量灵敏度 (rms)

2·10-4 m-1

空间分辨率

~290 µm

采集频率 (sequential acquisition)

50 Hz

处理频率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

30 Hz

工作波长范围

350 - 1100 nm

校准波长

400 - 600 nm, 500 - 700 nm, 630 - 900 nm, 800 - 1100 nm

扩展波长范围*

400 - 700 nm, 500 - 900 nm, 650 - 1100 nm

尺寸 / 重量

75 x 62 x 68 mm / 510 g

工作温度

15 - 30° C

接口 / 供电电源

Fire Wire / 12 V / 6 W

操作系统

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外触发器

yes

7.HASO3 FAST

主要特点:

•工作波长范围在400到1100nm之间

•速度905 Hz

•λ/ 150 rms的相对精度

•真正的测量λ/ 100 rms

•相位和强度同时和独立的测量

•的精度和动态范围

详细参数:

描述

规格

孔径

1.7 x 1.7 mm²

微透镜数

14 x 14

倾斜动态范围

>±3°

聚焦动态范围- 最小局部曲率半径

± 0.025 m

聚焦动态范围- maximum NA

0.1

可重复性 (rms)

< λ/200

相对模式下波前测量精度 (rms)1

~λ/150

模式下波前测量精度 (rms)²

~ λ/100

倾斜测量灵敏度 (rms)

6 µrad

聚焦测量灵敏度 (rms)

5·10-3 m-1

空间分辨率

~110 µm

采集频率(sequential acquisition)

905 Hz

处理频率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

800 Hz

工作波长范围

on request

校准波长

on request

扩展波长范围*

400 - 700 nm, 500 - 900 nm, 650 - 1100 nm

尺寸 / 重量

115 x 51 x 60 mm / 400 g

工作温度

15 - 30° C

接口 / 供电电源

Cam Link / 12 V / 6 W

操作系统

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外触发器

yes

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