测量原理

荧光 X 射线上由在原子轨道上的电子受到比其能量状态高的激发源 X 射线照射而产生的。激发源 X 射线与原子轨道上的电子发生碰撞使其脱离轨道，出现空位时，整个原子既处于不稳定状态，而外层较高能量轨道上的电子则会为了空位而移动轨道。此时，轨道间的能量便会产生 X 射线。产生的荧光 X 射线具有光素固有的能量，因此也被称为固有 X 射线。

当硫磺（元素符号 S ) 原子的 K 层电子脱离轨道、电子从 L 层移动过来时所产生的固有 X 射线的大部分称为具有 2.31KeV 能量的 S-Kα 射线，一部分称为具有 2.46KeV 能量的 S-K 阝射线。

反应所产生的固有 x- 射线的光子数量与试样中的原子数量成比例，因此通过对光子的计数就能够得知试样中目标元素的重量浓度。

为了定量分析特定物质，在此对以各种不同能量进入检测器的上述各种元素的固有 X 射线按能量进行判别区分，并给出能量谱图。