PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
技术参数
主要特点 | - 通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
- 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
- 设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体。
- 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
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参数 | - 电源：AC220V 50/60Hz
- 输出功率：7.2W、10.2W、29.6W
- 真空泵功率：<500W
- 总功率：<600W
- 射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节
- 等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗
- 真空泵：24L/min，直连式双旋真空泵
- 极限真空度：50mtorr
- 通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定）
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产品规格 | - 尺寸：400mm×300mm×300mm
- 重量：10.2kg
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可选配件 | - 2″-6″石英舟（盛放基片）
- 2-4通道质子或浮子混气系统
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质保期 | 一年质保期，终身维护 |
