输入电压

AC208 - 240V 50/60 Hz

功率

< 2000W（包括机械泵）

真空腔体

熔融玻璃管，尺寸：160 mm Dia. x 110mm Height

载物台

• 一个Φ50mm的样品台
• 大蒸镀区域为Φ45mm
• 仪器中配有3个钨丝舟
•  

配件

• 配有一直联式双旋机械泵（上面安装有油污过滤器和防回油装置），可使真空腔体的真空度达到10-2 torr
• 配有KF25的波纹管和卡箍
• 注意：对于蒸镀对氧较敏感的材料，建议使用涡旋分子泵。而且，为了达到较高的无氧环境，至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗3次
•    

钨丝舟和蒸发源

配有3个钨丝舟和1根碳纤维（以供对样品进行镀碳使用）

外型尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

质保期和质量认证

一年质保期，终生维护

CE认证