产品特点：

•射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

•整套设备尺寸小巧；

•可通过工艺调节来控制化学计量；

•可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。

加热炉参数：

•温度：1100℃（《30min）；连续工作温度：1000℃；

•PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

•输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

•炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。

射频电源：

真空系统：

•采用TRP-12的双旋真空泵；

•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

•真空度可达10-2Torr。

产品尺寸和重量：

•尺寸：1500mm L'600mm W'1200mm H

•净重： 75 kg

质保：

一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件