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红外加热喷雾旋转涂覆机 | VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂膜机、匀胶机、显影机、甩胶机、旋涂仪、spin coater主要用于半导体工艺、制版工艺过程中图形的显影及表面涂覆工艺,是一款上盖可以加热的匀胶机、显影机,在匀胶或显影过程结束后使用加热功能使胶体薄膜中的溶剂继续蒸发到含量低。工作过程中显影液或胶体以雾状喷到样片上,使溶液在样片表面均匀分布,有利于薄膜和显影过程的顺利进行。本机电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源进行控制,电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制,转数在100-2000RPM范围内可调。涂膜机在工作时设有两个阶段,在启动前根据实际需要进行设置。VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、显影机、spin coater启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。对于样件的固定,采用橡胶吸盘和磁力钢片模板,不仅样件取放自如,而且操作简便。此外,在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。 | ||
主要特点 | 1、采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件,不仅样件取放自如,而且操作简便;橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。 | |||
基 本 参 数 | 1、电源:AC220/110V、50/60Hz 3、双转速涂膜功能: 双转速及涂膜时间分别设置,在启动后先低速运转(滴涂胶液),然后自动转换到高速运转(匀胶)。转速稳定(±1%),涂膜物质均匀。 转数1:100-2000 RPM有效
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安装条件: 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
产品规格: 主机外形尺寸500mm(长)×410mm(宽)×330mm(高),
可选配件: 橡胶吸盘 磁力钢片模板(可定制) | ||
标准配件: 1 磁性钢片模板(Ф160mm) 1个
2 吸盘(Ф153mm) 1个
3 温控箱 1台
4 蠕动泵 6台 |