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MMA大行程系列测量显微镜采用NIKON原装倾斜式三目镜筒,五段变倍鼻轮(可选自动变倍鼻轮)。提供超高清晰度测量画面,配以0.0001mm分辨率金属光栅实现更高的测量精度,同时Z轴采用图像处理方式实现Z轴精准对焦测高,10X及以上物镜对焦重复性≤0.002mm,100X物镜对焦重复性≤0.001mm。
适用于半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板(LCM)、晶片级CSP等领域。
升级扩展选项:
A、DIC微分干涉模块;
B、荧光模块。
机型参数: