关键词：热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、

              欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路

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• 型号： MEB550S，  产地：欧洲    应用：Thermal barriers/红外波导

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• 8个坩埚：Au, Pd, Al, Mo, Ni, NiCr, Ti, Ge

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• 样品台可旋转、可倾斜，可加载6英寸衬底

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• 配备Load Lock和主腔体

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• 真空系统：采用低温泵和干泵

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• 10kW电子束源

   

• 离子枪对衬底进行清洗和刻蚀

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• 全自动控制，半自动和手动可选，支持远程维护

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 典型用户：格拉斯哥大学