关键词：热障层、红外波导、lift-off工艺、HMET晶体管、PHMET晶体管、

              欧姆接触、肖特接触、磁性材料、MEMS封装、约瑟夫森电路

             金属膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti

型号：MEB 400S，  产地：欧洲， 应用：沉积金属薄膜

坩埚：8×12cc, 材料分别是Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, Au金属

电子枪：10kW

真空系统：采用低温泵+干泵

                  配备薄膜真空计、潘宁/皮拉尼真空计

样品台：可接纳4英寸衬底

衬底旋转：双星新运动

膜厚控制仪：沉积速率0.01A/s,  厚度分辨率0.1A

Load Lock可选

控制系统：全自动控制，半自动和手动模式可用

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