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整机外形尺寸(长X宽X高) | 1150x750x1750mm | 玻璃台尺寸 | 200x250mm |
运动行程 | X175、Y175 | 调焦行程(Z轴) | 175mm |
仪器电源 | AC200V 50HZ | 光栅尺 | 0.001(雷尼绍高精度光栅尺) |
X-Y线性精度 | 3+L/200um | X-Y矢量精度 | 3+L/200um |
Z轴精度 | ≤5+L/200um | 光源 | 底部平行背光 |
镜头 | 远心镜头 |
·适用于以二维平面测量为目的的应用领域
·高精度天然花岗岩机身,稳定性高,硬度高,不易变形
·双层工作平台设计,配备高精度交叉滚动导轨
·配置高精度光栅尺,分辨率0.001mm
·操作简单、准确测量、功能齐全、稳定可靠