高纯氮设备-深冷制氮工艺-低温纯度装置主要技术指标：

产品：氮气

产量：4000Nm³/h

纯度：O2≤3ppm或N2≥99.999%

压力：0.8MPa

高纯氮设备-深冷制氮工艺-低温纯度装置流程简述：

空气经过自洁式过滤器除去部分杂质后，进入离心式空压机压缩至0.9MPa，经过精密过滤器过滤掉管道内机械杂质后。空气进入预冷机预冷至5-8摄氏度，通过水分离器将空气降温后的冷凝水去除掉。空气进入纯化器去除空气当中的二氧化碳、碳氢化合物、水分等杂质，经过纯化后的空气再通过粉尘过滤器将粉尘过滤。

纯化后的纯净空气一部分进入下塔中下部作为上升气体参与精馏。

一部分进入膨胀机增压端增压后，经过冷冻机冷冻降温，再到膨胀机膨胀端进行膨胀制冷，膨胀后的空气进入分馏塔主换热器复热到常温，再回到空压机进入循环。