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Zeta-20表面轮廓测试系统概述
型号:Zeta-20
产品:光学轮廓仪/表面轮廓测试系统
品牌:Zeta泽塔
简介:3D成像及测试系统 (为用户量身打造的表面轮廓测量设备,是表面量测领域的选择 )
Zeta-20表面轮廓测试系统技术规格
Zeta-20性能配置
数据获取: 小于10秒(200步扫描)
3D扫描: 每秒大于30步
像素分辨率: 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)
Z轴分辨率: 0.002 μm (压电陶瓷载台)
重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)
Zeta-20标准功能
相机选项: 640x480, 1024x768,
1280x960像素
放大倍率: 45000X (光学加数字)
照明: 双重高亮度白光LED
手动载台: 100mm x 100mm XY移动距离
Z轴移动距离:40mm