泵循环油量也影响泵的极限压力。油循环量与泵极限压力的关系见图433。随着油量  的增多,密封效果越好,泵的极限压力与油量的关系应按图中DE变化,终达到油的饱和蒸  气压p0。而实际上泵油中含有大量的空气和水分,泵油进入泵腔后,吸收在泵油中的空气和  水分又释放出来,泵极限压力与油量的关系应按FG变化。

  真空泵维修在DE和FG两曲线的共同影响下  泵极限压力与油量的关系为曲线ABC。低压力PB对应的油量QB为注油量。一般泵油  应保持在油位上,使泵的循环油量保持一定。对于双级泵,泵油要经过低真空级脱气后才  能进入高真空级,这样可以减少泵油在高真空级中的放气量,以降低泵的极限压力  b.泵的极限压力与泵油的工作温度有关。油温越高,油的饱和蒸气压越高,泵的极限  压力也越高。

  化学净化和排空电离计对氮气的泵送有较大影响。 原因是，除了电吹扫之外，还进行了化学吹扫。 化学吹扫具有以下类型：（1）化学活性气体（例如H2，N2，CO2，CO等）在固体表面上的化学吸附作用：当在表面上形成吸附层时，化学吸附作用趋向于 饱和 2）高温钨丝的氧化：氧气与三氧化钨（WO）之间的相互作用，三氧化钨沉积在量规的壁上，形成黑色膜。 随着热阴极温度的升高，这种影响也会增加。  （3）高温钨丝表面上气体的热分解：氢分子（H2）可以分解成高温钨丝表面上的原子氢。  （H），原子氢易于吸附在管壁上。 在Tw = 1475K时，氢的抽速为S = 0.1L / s； 也可以在钨丝的表面上分解为氧原子（O），并吸附在调节壁上，Tw = 1700X。 氧气的抽速S = 4×10-21。  / S。此效果也饱和。

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