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真空溅射镀膜电源真空溅射镀膜电源
产品简介
本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
有以下特点:1、恒压,恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能 具有的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。
技术参数
品名 | 真空镀膜电源 | |
型号 | SPWM系列 | |
输入 | 相数 | 单相或三相 |
电压 | 220/380V | |
频率 | 50Hz | |
输入方式 | 4线(含地线) | |
输出 | 波形 | 直线 |
功率 | 30KW /60KW /100KW(可定制) | |
电压 | 0—1200V(可定制) | |
稳定度 | ≤1% | |
电流 | 0—200A(可定制) | |
稳定度 | ≤1% | |
纹波及杂讯 | ≤5%或≤3% | |
效率 | ≥90% | |
控制 | 功率 | 可选择 |
电压 | 恒压控制,可本地控制也可通过0-10V或4-20mA | |
电流 | 可选择 | |
保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
冷却 | 风冷 | |
外型 | 外壳 | |
尺寸(W*D*H) | 482.6mm*600mm*266.7mm(30KW) | |
重量 | 30KG(30KW) | |
备注 |
开关电源特点
体积小,重量轻,效率高,节能*。功率因子高,对电网污染小。输出纹波小。输出电压,电流独立可调,恒压,恒流自动转换。
真空镀膜应用领域
真空镀膜行业不同于以往的电镀行业,属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置,涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品,以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、耐磨损膜、固体润滑膜装置。
本公司自主研发生产的真空镀膜电源,成功地运用了优异的脉宽调制技术(PWM),引进三菱、富士等国外*的IGBT核心执行元件,大功率机器采用结构均流技术,并配以各种完善的保护功能,使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决,满足低纹波要求,且体积小、重量轻、节能环保,是一种性价比优异的直流电源产品,也是可控硅整流电源的替代品。
电源类型 | 三相桥式整流 | 六相双反星形整流 | 高频开关直流电源 |
体积 | 一般 | 较大 | 较小 |
功率因数 | 随导通角变化 | 随导通角变化 | 始终≥0.92 |
0.5-0.9 | 0.5-0.9 | ||
电源效率 | 0.86左右 | 0.88左右 | ≥0.92 |
谐波含量 | 较大(导通角小时较大) | 一般(导通角小时较大) | 较小(功率大小基本不变) |
节能效果 | 无 | 一般 | 较好 |
噪音 | 一般 | 较大 | 无 |
成本 | 一般 | 比较高 | 比较高 |