真空溅射镀膜电源

真空溅射镀膜电源

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2019-07-04 15:09:45
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上海日意电子科技有限公司

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产品简介

真空溅射镀膜电源产品简介


有以下特点:1、恒压,恒功率

      2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能 具有的负载匹配能力。

      3、工艺重复性好。

      4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。

技术参数


型号SPWM系列
输入相数单相或三相
电压220/380V

详细介绍

真空溅射镀膜电源真空溅射镀膜电源

 

 

产品简介

本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)

有以下特点:1、恒压,恒功率

      2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能 具有的负载匹配能力。

      3、工艺重复性好。

      4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。

技术参数

品名真空镀膜电源
型号SPWM系列
输入相数单相或三相
电压220/380V
频率50Hz
输入方式4线(含地线)
输出波形直线
功率30KW /60KW /100KW(可定制)
电压0—1200V(可定制)
稳定度≤1%
电流0—200A(可定制)
稳定度≤1%
纹波及杂讯≤5%或≤3%
效率≥90%
控制功率可选择
电压恒压控制,可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流可选择
保护具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却风冷
外型外壳 
尺寸(W*D*H)482.6mm*600mm*266.7mm(30KW)   
重量30KG(30KW) 
备注 

开关电源特点

  体积小,重量轻,效率高,节能*。功率因子高,对电网污染小。输出纹波小。输出电压,电流独立可调,恒压,恒流自动转换。

真空镀膜应用领域

  真空镀膜行业不同于以往的电镀行业,属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置,涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品,以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、耐磨损膜、固体润滑膜装置。

  本公司自主研发生产的真空镀膜电源,成功地运用了优异的脉宽调制技术(PWM),引进三菱、富士等国外*的IGBT核心执行元件,大功率机器采用结构均流技术,并配以各种完善的保护功能,使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决,满足低纹波要求,且体积小、重量轻、节能环保,是一种性价比优异的直流电源产品,也是可控硅整流电源的替代品。

电源类型三相桥式整流六相双反星形整流高频开关直流电源
体积一般较大较小
功率因数随导通角变化随导通角变化始终≥0.92
0.5-0.90.5-0.9
电源效率0.86左右0.88左右≥0.92
谐波含量较大(导通角小时较大)一般(导通角小时较大)较小(功率大小基本不变)
节能效果一般较好
噪音一般较大
成本一般比较高比较高
 
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