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等离子清洗机的使用优势
• 带触摸屏的PLC控制器提供了直观图形界面和实时工艺呈现。
• 无论是直接等离子,还是下游等离子模式,弹性架板结构都可以应对各种不同的样品载具。
•射频发生器有自动阻抗调谐,实现了成熟的工艺再现性。
• 专有的软件控制系统生成工艺和生产数据用于统计制成控制。
• 批处理类型,每一个单元都包含在机器内部,只需要较小的占地面积。
• 泵、腔体、电子控制、射频源都被封装在一个箱体内。
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。