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Pfeiffer普发磁悬浮抽真空涡轮分子泵 HiPace 300 M 技术参数

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型号

接口 DN

抽速 l/s

压缩比

-高启动压强 hPa

极限压力
(理论值)

全转速气体流量 hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气
N₂

氦气He

氢气 H₂

氮气
N₂

氮气N₂

hPa

氮气N₂

min

kg

HiPace 300 M

100

16

255

215

170

> 1X10¹¹

20

< 5X10^–10

28

2

17.2

Pfeiffer普发磁悬浮抽真空涡轮分子泵​ HiPace 300 M 抽速对比图:

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