真空抽滤系统

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真空系统存在的泵的名词解释：

主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度 来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。

密封件材质的选用：真空度在lO-3Pa以下的真空系统，密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是，考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度zui高可达2300℃，密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
3.静密封结构的选择

真空抽滤系统

粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

真空系统的组成：

1．抽气设备：例如各种真空泵；

2．真空阀门；

3．连接管道；

4．真空测量装置：例如http://www.pronotek。。ｃｏｍ真空压力表、各种规管；

5．其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。

普诺克真空系统产品图