睿米®电磁阀真空He标准漏孔
产品简介
详细信息
一.全气体支持,包括但不限于:
He, H2, 5%H2/95%N2, O2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, C2H6, CH3CH3...
冷媒/卤素/制冷剂:SF6/R134a/R22/R290/R410a/R407c/R545b/R600a/R1234yf/R1234yfze
液体:DMC电解液,十二烷C12H26...
混气:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1, 各种混合比例气体
二.全量程、全压力支持,并支持同时压力和漏率的精确定制:
漏率:100L/H ~ 5x10-12 mbar.L/s
压力:0-40Mpa;
1.有源漏孔(带气室)
抗震抗摔,高阶压力,极低衰减,温度系数0.1%/℃,工作温度:-20-65℃
1.1 He有源漏孔:
负压漏孔:入真空漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-12mbar.L/sec
正压漏孔:入大气漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
1.2 H2和其他气体有源漏孔(包含混合气):
负压漏孔,入真空漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
正压漏孔,入大气漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
充气压力:12Mpa
各类定制:根据客户要求可定制气室规格、阀门类型、对外接口
气室规格:50cc,100cc,160cc,200cc,300cc,500cc,1000cc等。
阀门类型:无阀门,手动截止阀,隔膜阀(手动/气动),零体积阀(手动/气动),全金属阀...
接口类型:KF, VCR,NPT螺纹, G螺纹,R螺纹,吸枪适配口...
2. 无源漏孔(所有气体):
负压漏孔入真空漏率范围6L/min~1x10-9mbar.L/sec
正压漏孔入大气漏率范围100L/min~5x10-9mbar.L/sec
压力:0-40Mpa
接口类型:KF, VCR,NPT螺纹, G螺纹,R螺纹,吸枪适配口...
三.产品形态多样化:
1.有源漏孔(带气室)、开放式无源漏孔(模拟和仿真泄漏件,模拟客户工件的测试压力与测试漏率进行定制,外接气源和压力)
2.真空漏孔、正压漏孔(出口压力为大气压)、或同时支持真空/正压漏孔(RMI-MTC微通道毛细管支持压力,对于≥5x10-9mbar.L/sec真空漏率/正压漏率相差可以做到小于0.1%)
3.背压式标准漏孔(模拟压氦体积最小1μL),模拟客户背压测试工件条件,包括测试压力,背压体积,以及漏率要求。睿米推出背压式标准漏孔,用于动力电池pack密封测试。
4.可调漏率标准漏孔,如TLS3-5(10-3mbar.L/sec-10-5mbar.L/sec漏率可调),TLS4-6(10-4mbar.L/sec-10-6mbar.L/sec漏率可调)
5.卤素/冷媒/制冷剂标准漏孔:支持所有的制冷剂类型,采用液态+气态双气室设计,一次充注,长期使用。并使用数字压力表,精确调压和调漏率,漏率支持:1x10-6Pa.m3/sec~1x10-3pa.m3/sec,或支持0.1-1000克/年。
6.气密性漏孔,介质为空气或N2。用于校准气密检漏仪或进行工件模拟、仿真、和校准。定制漏率范围:100L/min~0.0001ml/min,压力:-1~40Mpa
7.RMI-ZVTM零体积阀标准漏孔:常规阀体死体积一般0.5-2cc,采用睿米自研零体积手动/气动阀,阀体死体积仅为0.00098cc(0.98μL),提高2~3个量级。适用于大漏率标准漏孔,可以限度降低气体损失以及漏率衰减;同时可用于真空系统/四极质谱/RGA/半导体等应用场景,消除阀门开关对高真空系统的冲击。
8.混气标准标准漏孔:如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1,或客户气体种类或混合比
9.液态标准漏孔:如DMC电解液标准漏孔,十二烷C12H26标准漏孔
10.高压标准漏孔:压力≥5Mpa。如He压力35Mpa,漏率为3.0x10-5mbar.L/sec;或如He压力5Mpa,漏率为1.0x10-6mbar.L/sec
11.丰富的接口类型:支持常见的KF16, KF25, KF40, KF50,CF16, CF40, VCR1/4, G1/8, G1/4, R1/4, R1/8, 1/8NPT, 1/4NPT, M8, M10, Staubli等。大部分接口采用一体化设计,如阀门与VCR,KF25接口一体化设计,无源漏孔采用一体化设计等,很大程度降低泄露或物理上避免泄漏的发生。
12.各种阀门:手动截止阀,全金属阀,隔膜阀,零体积阀..., 睿米自研的阀体,采用硬质密封技术,在压力>10MPa条件下,实现漏率<1x10-9atm.cc/sec
四.的性能指标:
睿米标准漏孔性能指标(如漏率稳定性、可重复性,抗温度影响,抗堵塞,抗震抗摔,高低温测试)优于国外/国内同类产品,使用寿命数倍于国外/国内同类产品!
1.高压力,极低衰减,极低或无需维护,使用寿命长,无源标准漏孔支持40Mpa压力,可以模拟/仿真高压油轨泄露或高压力容器等,有源漏孔支持12Mpa,是大部分厂家的1~2Mpa的数倍,也就是说同等条件下,充气其他厂家的1Mpa标准漏孔如果1年衰减10%,睿米微通道毛细管漏孔10年才衰减10%,睿米有源标准漏孔,包括正压和真空漏孔,<1x10-6mbar.L/sec的可以实现生命周期无需补气免维护; 即使如5x10-2mbar.L/sec的,结合睿米零体积阀体,可以实现数年无需补气,极大降低维护工作以及使用成本。
2.抗震,抗摔,抗高压冲击,防堵塞性好:
睿米RMI-MTCTM微通道漏孔可以支持抗震、抗摔,耐操性强;之前国外/国内的大部分的标准漏孔需要细心苛护,运输的时候要用防震棉,使用的时候要轻拿轻放,不小心磕碰就损坏,昂贵的标准漏孔成了一种易消耗品。使用的时候,压力过高,充压/泄放过快都有可能造成漏孔损坏,睿米RMI-MTCTM微通道毛细管标准漏孔,是业界目前支持暴力测试的,例如我们把标准漏孔进行跌落测试、砸摔测试,冷冻测试(放到冰箱-20℃急冻),漏孔工作正常。
3.广泛的环境和工况适应性:
抗震抗摔,抗高压力反复冲击(到40Mpa),温度支持-20~65℃, 其温度对漏率的影响业界最小,仅为0.1%/℃,可以广泛的应用于工作恶劣之环境,同时满足科研,半导体、光源等高等级之需求。
4.的交付能力:
睿米的自研RMI-CalTM专有算法,对加工工艺、流导计算进行优化, 可以根据客户的压力和漏率进行快速定制,定制漏率公差±10%、±5%或±2%, 交付周期3-5天。