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仪器仪表光学仪器电子显微镜

JSM-IT700HR InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜

供应商:
广州文明机电有限公司
企业类型:
其他

产品简介

日常使用的SEM,好用! 该设备分辨率1nm、探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。

详细信息

■ 主要参数

分辨率

高真空模式:1.0 nm (20 kV) 3.0 nm (1.0 kV),分析时:3.0 nm (15 kV 入射电流 3 nA), 低真空模式:1.8 nm (15 kV BED)

放大倍率×5 ~ ×600,000
电子枪
浸没式热场发射电子枪
加速电压
0.5 kV ~ 30 kV
入射电流数pA ~ 300 nA
低真空范围
10 Pa ~ 150 Pa
样品尺寸
200 mm直径×75 mm高、200 mm直径×80 mm高 ※1、32 mm直径×90 mm高 ※2
样品台全对中,X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm    傾斜:-10 ~ 90° 旋转:360°
OS、显示器Microsoft® Windows®10  64bit, 23.8”触摸型
真空系统全自动TMP:1台 SIP:2台 RP:1台



■ 选配件

1.  低真空二次电子检测器 (LVSED)

2.  能谱仪 (EDS)

3.  波谱仪 (WDS)

4.  电子背散射衍射检测器 (EBSD)

5.  气锁室 (LLC)

6.  样品台导航系统 (SNS)

7.  操作面板

8.  3D测长软件

9.  操作台

10. UPS

11. 空压机