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仪器仪表光学仪器电子显微镜

JSM-IT800 热场发射扫描电子显微镜

供应商：
广州文明机电有限公司
企业类型：
其他

产品简介

JSM-IT800具备高分辨观察和高速元素面分析，能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统Neo Engine、一体化EDS、易用的操作导航SEM Center、及可置换的物镜模块。

详细信息

主要特点

■ 视频介绍

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主要参数

JSM-IT800　SHLversion

JSM-IT800　HLversion

分辨率 (1 kV)

0.7nm

1.3nm

分辨率 (15 kV)

0.5nm

-

分辨率 (20 kV)

-

0.7nm

加速电压

0.01   - 30 kV

检测器

二次电子检测器（SED）

二次电子检测器（SED）

高位混合检测器（UHD）

高位电子检测器（UED）

电子枪

浸没式schott-plus场发射电子枪

入射电流

数 pA - 500   nA (30 kV)

数 pA - 300   nA (30 kV)

数 pA - 100   nA (5 kV)

数 pA - 100   nA (5 kV)

物镜

超级混合物镜SHL

混合物镜HL

样品台

全对中马达驱动样品台

样品台行程

X:   70 mm， Y: 50 mm， Z:    2～41 mm，倾斜：-5～70o， 旋转：360o

EDS能谱仪

能量分辨率133eV以下， 检测元素B-U， 60mm2大面积检测器


主要的选配件