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半导体研磨废液

供应商:
武汉怡清环保工程有限责任公司
企业类型:
其他

产品简介

半导体研磨废液

详细信息

切削液是一种在半导体研磨加工过程中,用来冷却和润滑刀具和加工件的工业用液体,切削液由多种功能助剂经科学复合配合而成同时具备良好的冷却性能、润滑性能、防锈性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀释特点。切削液具有良好的冷却、清洗、防锈等特点金属切削乳化液广泛用于金属及其合金在加工过程其废液属于危险废物HW09范畴, 对环境负面影响极大,且由于油和水紧密结合在一起形成稳定的乳化态而非常难处理,号称工业废水癌症。传统的蒸馏法、 生物法、吸附法等处理成本高,处理效果不佳,对环境危害大。

化硅常用的切削液有油基切削液和水基切削液。油基切削液有矿物油、动植物油、普通复合切削油、极压切削油;水基切削液有乳化液、合成液体、化学溶液和半合成切削液。

由于切削液处理难度大,投资成本高。目前,大部分工厂切削液均采用委外处置的方式,处理费用高,运输、暂存、管理工作复杂。

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碳化硅陶瓷微滤、超滤膜采用高硬度、高强度的碳惰性材料经重结晶在2400℃的高温下烧结而成。具有以下优点:的化学稳定性;的导热性;超低的热膨胀性;的抗磨性;⑤40%-50%的高空隙率;⑥“0”亲角清水性,膜通量是一般膜的5-10倍。

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过滤粒径小于膜孔径的物质(或溶剂)透过膜进入下一步工序。大分子物质(或固体微粒)被膜截留并被带出膜组件并回流到加热罐。这样循环工作,随着滤液不断流出,截留物的含量便越来越高,最终达到分离除杂的目的。切削液处理设备既可将废切削液处理达标后回收利用,也可将不可时原料液从加热罐中由泵输送到SiC陶瓷膜组件后,由于膜的内外存在压差,溶解性的物质或回收的废液浓缩减排,给客户带来双重经济效益。

碳化硅膜相比普通氧化铝膜氧化耐受性、化学耐受性都要强,其高亲水通量的特征更是让其在处理各种切削液、乳化液又较为明显的优势,使其在使用过程中更易清洗,不易堵塞。碳化硅陶瓷膜其优异的特征使其成为一代膜过滤技术。

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碳化硅膜组件标配材质为SUS304;阀门、管件标配材质SUS304;密封圈、垫片材质丁腈橡胶/氟橡胶;表面处理为机械抛光,特殊材质需定做。

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