XPS-7Ⅱ日本新宇宙COSMOS毒气/半导体材料气体检测仪
产品简介
详细信息
01.产品特点
· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
· 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
· 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
型号气体满量程
XDS-7NHNH3100ppm
XDS-7SHSiH425ppm
XDS-7DCSiH2Cl225ppm
XDS-7AHAsH3250ppb
XDS-7PHPH31ppm
XDS-7BHB2H6500ppb
XDS-7SEH2Se250ppb
XDS-7GHGeH41ppm
XDS-7CLCl25ppm
XDS-7CFClF31ppm
XDS-7HCHCl25ppm
XDS-7HFHF10ppm
XDS-7HBHBr10ppm
XDS-7NONO100ppm
XDS-7HSH2S50ppm
XDS-7COCO250ppm
XDS-7DSSi2H625ppm
XDS-7F2F25ppm
XDS-7OZO31ppm
XDS-7SDSO210ppm
XDS-7NDNO210ppm
XDS-7NFNF3100ppm