JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜-重工机械网

JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜

的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式

二次电子像分辨率	0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ）分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA )
倍率	Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
加速电压	0.1 ～ 30 kV
探针电流	数 pA ～ 200 nA
电子枪	浸没式肖特基场发射电子枪
透镜系统	聚光镜（CL）、光阑角控制镜（ACL）、半浸没式物镜（OL）
样品台	全对中测角样品台、5轴马达驱动
电子检测器系列	高位检测器、　r‐过滤器　内置、低位检测器
自动功能	自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节
图像观察用液晶显示器	屏幕尺寸 23英寸宽屏分辨率　1,920 × 1,080像素
抽真空系统	电子枪室／中间室　SIP 离子泵样品室　TMP 分子泵