FD-9104PA FD-9104PA硅片抛光机2
产品简介
详细信息
FD-9104PA硅片抛光机
主要用途：
广泛用于多种尺寸的硅片的单面抛光及镜面抛光。
设备参数：
| 抛光盘尺寸 | Φ910mm |
| 工作工位 | 4组 |
| 陶瓷吸盘直径 | Φ400mm |
| 加压方式 | 气缸加压 |
| 主电机功率 | 7.5KW/380V |
| 工件盘驱动功率 | 0.4KW/380V |
| 工作气压 | 0.4-0.6MPa |
| 工件盘转速 | 5-40RPM |
| 抛光盘转速 | 10-80RPM |
| 加工粗糙度 | Ra:0.0002 |
| 设备总重量 | 2300kg |
| 外型尺寸（L*W*H） | 1650*1200*2300mm |
该陶瓷抛光机抛光后的效果：
