大口径高温高压芯片退火管式炉LFT1200C 450D2542
产品简介
详细信息
大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。
技术参数：
| 型号 | LFT1200C 450D254 |
| 额定功率 | 13KW |
| 额定电压 | 380V |
| 温度 | 1000℃ |
| 额定温度 | 900℃ |
| 推荐升温速率 | 10℃/min |
| 炉管尺寸 （可根据客户要求订制） | 内径245*600mm（含管堵） |
| 外型尺寸（长×深×高） | 1900*700*2100mm |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 极限真空度（选件） | 1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵） |
| 加热元件 | OCr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） |
| 重量 | 490公斤 |
| 客户自配装空气开关 | 40A |
流量控制器技术参数：
连接头类型：Φ6双卡套接头
流量规格： （1000,1000，1000,1000，）sccm ，具体气体量程 可根据工艺要求配置
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec 电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
耐压：3MPa
输入输出信号：0 V ~ +5.00 V（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
电源：+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5 ℃ ~ 45 ℃