在线薄膜测厚仪
产品简介
详细信息
高利通生产的INF3000P在线薄膜测厚仪,是一种薄膜材料(包括光学镀膜、半导体镀膜、新能源电池绝缘膜、胶涂层以及其它平板状透明材料等)厚度的非破坏性测量仪器。
INF3000P由主机和光纤探头组成,主机包括稳定的宽光谱光源和高精度的光纤光谱仪。使用时,将光纤探头垂直安装于被测薄膜材料的上方或下方即可。
INF3000P利用光学干涉原理,通过测量宽光谱光的相位差而计算薄膜材料两个平行表面之间的厚度。
在测量过程中,一束宽光谱光从空气中射入薄膜表面,由于薄膜的存在,光束被薄膜的上下表面多次反射形成的多个光束叠加后,形成了干涉条纹。该干涉条纹的相位差与被测物体表面薄膜的厚度和折射率有关。
当薄膜厚度发生变化时,其不同表面反射光的光程差发生了变化,从而导致干涉条纹相位的改变。根据干涉条纹相位的变化,可以计算出薄膜厚度和折射率。
●稳定性、可靠性更强,分析更加准确
●软件控制仪器,功能完善,操作便捷和维护方便
●优异的一致性
项目 | 指标 | 备注 |
测量范围 | 1μm-100μm | |
分辨率 | 1μm | |
测量数据显示位数 | 0.001μm | |
采样速率 | 100HZ | |
供电 | DC12V | |
能耗 | 21.25W | |
重量 | ≈2.5Kg | |
工作温度 | -10℃-50℃ | |
存储温度 | -20℃-70℃ | |
工作湿度 | ≤80%RH |