重工机械网

新一代工业级流量传感器芯片与气路结构的结合

数字质量流量控制器：采用公司自主研发的工业级流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高精度数字控制电路和算法，实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配备现场调试屏及独立供电接口，适配半导体 、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

   基于科学家托马斯提出的“气体的吸热量或放热量与气体的质量流量成正比”理论发展而来。无气流时，以Heater为中心的温度场对称分布；有气流时，温度场分布发生偏移，导致上下游出现温差，通过测量该温差，即可推算出流过芯片表面的气体质量流量。

   青岛芯笙MFC-S500系列气体质量流量控制器，具有*的气体流道设计，可实现灵活的分流比配置，量程覆盖1sccm~120slm，最小控制精度为0.1sccm，0~50℃温度范围漂移量仅为0.4~0.6%。在电学信号方面，提供多种数字和模拟控制方式，并配备工业级显示屏，方便客户现场调试和配置。