硅片干法自动装卸篮机
产品简介
详细信息
该设备解决了硅片或电池片如何自动的由成叠的形式装到专用花篮的问题，同时根据客户的需要，也可以把装在花篮里的硅片或电池片自动取出后成叠摆放。
主要可以用于以下工序： 扩散清洗前装卸篮，清洗后卸篮 ，PSG前装篮卸蓝，PECVD前装篮
1、自动化：实现分片自动化、传动自动化、入蓝自动化
2、低损伤性：可调节气体分片，传动过程无硬物接触
3、易操作：设备简单易学，一人同时操作两台
4、稳定性：主要元器件采用进口原件，稳定、耐用
| 试用范围 | 半导体晶圆，太阳能硅片、蓝宝石晶片 | 电源 | AC220V±15% 50/60Hz |
| 试用厚度（μm） | ≥180μm | 功率（Kw） | 3KW |
| | | 气压（MPa） | ≥0.4MPa |
| 片盒种类 | 25片、50片、100片 | 耗气量 | 150L/min |
| 效率（P/h） | 2500 | 用气规格 | 洁净干燥气体 |
| 破损率 | ≤0.15% | 尺寸（mm） | 1200X950X1000 |
| 检测范围 | ≥8mm | 重量（Kg） | 约200KG |