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激光平面干涉仪

供应商：
北京艾姆希半导体科技有限公司
企业类型：
其他

产品简介

激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。该仪器可用于光学车间、实验室、计量室。

详细信息

  • 测量方式：斐索干涉原理            
    通光口径：60mm                 
    测试波长：635nm（半导体激光器）   
    对准方式：简单两点对准             
    对准视场：±0.5度                  
    平面标准镜精度：PV：λ/10
  • 适用的材料包括：
    • 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）
    • III-V材料（GaAs、InP、GaSb等）
    • 第三代半导体材料（SiC、GaN 等）
    • 红外材料（CZT、MCT等）
    • 光电材料（LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等）
    • 金属材料（Au、Cu、Al、Mo、TC4等）
  • 应用的范围包括:
    • MEMS
    • 半导体器件
    • 半导体衬底
    • 封装