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通用设备工业炉烧结炉

YYZKTGL 真空碳管炉稀土提纯炉超高温真空炉石墨化炉光学材料烧结炉

供应商:
东莞燕园半导体科技有限公司
企业类型:
其他

产品简介

简单介绍 本款真空碳管炉是用高纯石墨作发热元件的立式真空电阻炉,供金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等在真空或保护气氛中烧结制品。

详细信息

技术参数

1.1额定功率: 50KW

2.2额定电压: 三相,380V

2.3加热器电压: 0-30V(单相)

2.4额定温度: 2300℃

2.5工作区尺寸: Φ90×120(mm)

2.6冷态极限真空度: 6.67x10-3Pa

2.7冷却水水压: 0.2~0.4Mpa

2.8冷却水要求: 水质按GB10067.1-88国标,总硬度CaO<10

2.9使用要求:海拔1000M以下、环境温度0-45度、湿度15%-85%

2.10保护气氛:1800-2200度高纯氩或高纯氮,2200度以上露点—60度的高纯氩

结构简介

3.1炉体 为立式炉壳,其内层为1Cr18Ni9做成的圆筒,外壳为碳钢经防锈处理。两层之间形成夹套可以通水冷却,将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体,中间开有抽气孔、观察孔、热电偶孔等。

3.2炉体上部是炉盖,它是有内外封头和法兰焊成,中间可通水冷却炉盖,装有锁紧装置,松开锁紧,炉盖自动向后打开,手动推到*大后即可装卸工件。

3.3炉底部分也是有内外封头和法兰组成,中间通水冷却,固定在炉体下部,有电极引入,电极通水冷却。

3.4炉内隔热屏由石墨碳毡组成,*内层为石墨发热体,底部隔热屏由石墨组成。

3.5真空系统

它是由2X-30双级机械泵及真空阀等组成,真空阀门为手动大蝶阀及手动蝶阀,真空度测量由数显复合真空计执行。有关真空计的使用请参照真空计使用说明书,注意使用一段时间后,热偶规管会老化,其工作电流需重新标定,标定方法主要为高真空校低真空法。即当电离真空度小于3×10-2Pa时,低真空规管(热偶管)的指针应指向0.1Pa以上,否则应调整其工作电流了

3.6电气系统

调压控制柜上可控硅调压装置由旋动手动调节,也可自动控制,380V三相电源经过降压变压器,电压降到30V,然后经过电缆再送到电极上。

3.7水冷系统

冷却水由总管进入,经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方,然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门,可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表,当水压低于0.1Mp时,可自动切断加热器。