两路混气CVD系统搭建：1200℃管式炉+浮子流量计
产品简介
详细信息
1200℃管式炉CVD系统广泛适用于高、中、低温CVD工艺，如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.
SGM 1200℃管式炉CVD系统专门设计用于高温材料沉积之用。1200℃管式炉CVD系统具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点。
两路气体CVD系统产品特点：
1、1200℃管式采用优质电炉丝加热。
2、炉管为刚玉炉管炉膛,
3、可预抽真空,便于通入参加反应的气体,单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。
4、管式炉有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
两路气体CVD系统技术参数
| 1 | 产品名称 | 1200℃单温区经济型两路气体CVD系统 |
| 2 | 常规型号 | SGM-O1200-50IC150-D2FH |
| 3 | SGM-O1200-60IC150-D2FH | |
| 4 | SGM-O1200-80IC150-D2FH | |
| 5 | SGM-O1200-100IC150-D2FH | |
| 6 | 炉膛模式 | 开启式 |
| 7 | 显示模式 | 高亮数码管显示(LED) |
| 8 | 炉膛材料 | 纤维 |
| 9 | 加热元件 | 合金加热丝 |
| 10 | 极限温度 | 1200℃ |
| 11 | 工作温度 | ≤1150℃ |
| 12 | 升温速率 | ≤20℃(建议:10℃/min) |
| 13 | 加热温区 | 单温区 |
| 14 | 温区长度 | 440mm |
| 15 | 恒温区长 | 200mm |
| 16 | 炉管材质 | 高纯石英 |
| 17 | 炉管常规直径 | 50mm |
| 18 | 60mm | |
| 19 | 80mm | |
| 20 | 100mm | |
| 21 | 炉管长度 | 1000mm |
| 22 | 密封方式 | 不锈钢真空法兰 |
| 23 | 气 密 性 | 真空法兰和石英炉管的气密性额定可达4.03×10-3Pa |
| 24 | 控制模式 | 智能PID多段程序控温 |
| 25 | 控温精度 | ±1℃ |
| 26 | 温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 27 | 预存曲线 | 可预存1条温度曲线 |
| 28 | 电流监控 | 指针式电流计 |
| 29 | 电压监控 | 指针式电压计 |
| 30 | 超温报警 | 有 |
| 31 | 过流保护 | 有 |
| 32 | 断偶提示 | 有 |
| 33 | 测温元件 | K型热电偶 |
| 34 | 电气认证 | CE认证 |
| 35 | 供电电源 | 220V 50Hz～60Hz |
| 36 | 整机功率 | 2.5KW |
| 37 | 气体通道 | 可连接3种气源 |
| 38 | 流 量 计 | 浮子流量计 |
| 39 | A路量程 | 10～100ml/min |
| 40 | B路量程 | 16～160ml/min |
| 41 | 气路压力 | -0.1～0.15 MPa |
| 42 | 系统真空 | 5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置） |
| 43 | 泵路链接 | KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀 |
| 44 | 真 空 计 | 标准配置机械真空计，也可选配电子真空计 |
| 45 | 售后服务 | 12个月质保，终身保修 |
| 46 | 包装形式 | 木箱或简装 |
| 47 | 随机配件 | 石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。 |
| 48 | 整套尺寸 | 左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm |
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