ZKXJ-11GL4 是一款炉管外径为 8.5" 的真空管式炉 , 它可以在6“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 该炉的工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器,温控精度: ±1°C。
技术参数
炉体结构 | 双层壳体,循环风冷. 炉体表面温度< 70 ºC 采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能
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工作电压 | AC 220V |
功率 | 8KW |
炉管规格 | |
加热元件 | NiCrAl 电阻丝 |
工作温度 | 极限温度: 1100°C 工作温度: 400 -1000°C 升降温速率: 10°C/min(max)
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加热区 | 加热区总长: 600mm (24'') 恒温区长度: 中心200mm (精度±1°C) 在800℃时炉膛温度分布曲线( 点击下图查看)
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控温仪 | 采用30段可编程PID数字温度控制器 设有一个额外的温度校准检测系统 双K型omega热电偶测温. 温控精度: ±1°C 可选: PC接口和软件 软件接口、模块和PC机不在标配内需额外订购
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密封法兰和进气接口 | 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到 (机械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在内 右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口. ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia K 型热电偶) 包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射
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使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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产品尺寸 | 炉体: 1000L x 680W x 920 H mm |
净重 | 250Kg |
保修期 | 整机保修一年,相关耗材除外。(如密封圈、炉管等) |
Certificate | CE certified |