高频等离子体发生器
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电容耦合高频等离子体(焰炬)capacili}ely caupfed high- frequency plasma[Torch)以小于30}MHa射频为辐射频率， 工作频率在1U一1 OOMI-}a的一种电容藕合等离子体光源。
该光源由二极管振荡器供给能量，并传到电容器尖形电极上， 在产生高场强。当其周围气体电离时，便发生放电火炬， 且维持不熄;待测试液通过载气雾化后，吸喷到放电区进行 激发。作为原子发射光i}分析光源。
当在感应线圈上施加高频电场时，由于某种原因（如电火花等）在等离子体工作气体中部分电离产生的带电粒子在高频交变电磁场的作用下做高速运动，碰撞气体原子，使之迅速、大量电离，形成雪崩式放电，电离的气体在垂直于磁场方向的截面上形成闭合环形的涡流，在感应线圈内形成相当于变压器的次级线圈并同相当于初级线圈的感应线圈耦合，这种高频感应电流产生的高温又将气体加热、电离，并在管口形成一个火炬状的稳定的等离子体焰矩。
其特点如下：
（1）工作温度高、同时工作气体为惰性气体，因此原子化条件良好，有利于难熔化合物的分解及元素的激发，对大多数元素有很高的灵敏度。
（2）由于趋肤效应的存在，稳定性高，自吸现象小，测定的线性范围宽。
（3）由于电子密度高，所以碱金属的电离引起的干扰较小。
（4）ICP属无极放电，不存在电极污染现象。
（5）ICP的载气流速较低，有利于试样在通道中充分激发，而且耗样量也较少。
（6）采用惰性气体作工作气体，因而光谱背景干扰少。
