重工机械网

登录

仪器仪表分析仪器露点仪

QZ360 ppb超低露点仪 半导体高纯气露点仪

供应商:
埃登威自动化系统设备(上海)有限公司
企业类型:
其他

产品简介

半导体高纯气露点仪采用对水分敏感的石英晶体微平衡传感器,简称石英振荡传感器,具有抗污染,无漂移等优点,测试范围可低至-120度露点仪,也就是ppb微量水分析仪,半导体高纯气露点仪在半导体高纯气体,新材料特种气体及研发机构中应用广泛,是为数不多的石英振荡技术实力派之一。

详细信息

半导体高纯气露点仪

半导体高纯气露点仪采用对水分敏感的石英晶体微平衡传感器,简称石英振荡传感器,具有抗污染,无漂移等优点,测试范围可低至-120度露点仪,也就是ppb微量水分析仪,半导体高纯气露点仪在半导体高纯气体,新材料特种气体及研发机构中应用广泛,是为数不多的石英振荡技术实力派之一。石英晶体振荡露点仪


  1. 半导体高纯气露点仪特点
  2. 全量程从0.001 ~ 2000 ppmV 范围,实现高精度的测量
  3. 使用简便,现场维护方便快捷,维护成本低
  4. 精度高达 0.01ppmV,取较大值
  5. 半导体高纯气露点仪针对变化中取样条件进行可靠的测量 — 根据样气压力和流量的变化进行自动调整

  6. 不受背景气体组分改变的影响
  7. 维护间隔时间长
  8. 十分钟时间就可以替换干燥筒
  9. 直观的菜单界面
  10. Ethernet 或者 USB 数字通讯
  11. SD 卡数据记录
  12. SD 可选内置取样系统和旁路

三、半导体高纯气露点仪产品技术参数

性能
测量技术 快速响应的石英晶振技术
范围 校验范围 0.1 到 2000ppmv
精度 0.01 ppmV ( 0.001 ~ 1 ppmV)
读数的 ±10%(1 ~ 2000 ppmV)
重复性 ±0.01 ppmV ( 0.1 ~ 1 ppmV)
读数的±5% ( 1 ~ 2000 ppmV)
测量单位 ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf
响应速度 T63 <2 分钟
T95 <5 分钟
灵敏度 0.001 ppmV 或读数的1%,取较大值
自我校验 内置湿度发生器作为标准源
校验可溯源到 NPL & NIST
灵敏度 0.001ppmv 或 1% 读数,取zui大
显示
半导体高纯气露点仪
可选
模拟输出 2 路可选4–20 mA 或1 到 5 V
数字输出 基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet传输
数据记录 直接记录到 SD 卡或通过 PC 应用软件传输
报警 1 x 系统警报,干接点(FORM C)
电源 24V
工作条件
进气压力 1 barg
出气压力 大气压
样气流量 300ml/分钟 总流量 @ 大气压
样气温度 0 ~ +100°C
工作环境 室内:+5 ~ +46°C,zui高达到90% RH
机械性能
外壳 不锈钢
气体接口 G1/2英寸
重量 0.2Kg

更多半导体高纯气露点仪QZ360 ppb超低露点仪信息请直接致电埃登威,西门子U23分析仪