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仓储设备搬运设备搬运机器人

半导体物料搬运机器人2

供应商:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
企业类型:
其他

产品简介

半导体物料搬运机器人2

详细信息

半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


ATR500

APR500

APR500片盒搬运机器人,可自动搬运两个12寸FOUP(兼容8寸片盒),实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人,可兼容多种半导体工厂物料,在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能,尤其适用于人机协作环境;多项创新技术有效提升机器人使用效率;可根据客制化需求,为用户提供工厂搬运整体解决方案。
   产品特征

● 安全智能

● 适用于多种工况

● 兼容性好

● 友好的人机交互界面

● 整体解决方案

   主要技术参数

型号

ATR500 

APR500 

功能

物料运输

物料搬运

导航方式

智能激光导航

智能激光导航

移动速度

 1.3 m/s(可配置)

 1.3 m/s(可配置)

充电方式

自动充电

自动充电