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通用设备工业炉管式炉

OTF-1100X-15-III 1100℃电动开启式三温区管式炉(15英寸石英炉管)OTF-1100X-15-III

供应商:
重庆励迈科仪科技贸易有限公司
企业类型:
其他

产品简介

OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)

详细信息

OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制,可设置30段升降温曲线,带有超温和短偶保护,控温精度为+/-0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。


技术参数


名称

OTF-1100X-15-III

炉体结构


双层壳体结构,并带有风冷系统,壳体表面温度低于70℃。

采用氧化铝纤维作为炉膛材料。

加热元件:Sic棒。

设备中配有2个氧化铝管堵,以保障炉膛内部温度均匀性(炉体加热前,管堵必须放入炉管内部)。

此管式炉可作为退火或扩散管式炉(6英寸或8英寸晶片可用特殊使用支架装载)。

电动开启式设计,使得用户操作更加简便。

结构图 氧化铝管堵 结晶装载 电动开启

加热区

总加热区长度:1000mm

三个加热区:330mm+330mm+330mm12 per zone

工作温度

工作温度:1100℃。

加热速率:10/min

加热元件:Sic棒(36根)

温控系统

控温精度为:±0.5

炉管

15英寸高纯石英炉管:尺寸:400mm O.D×388mm I.D×1860mm L

注意:石英炉管易碎,操作需谨慎。


真空密封&法兰

一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可是炉管真空度达到10-3torr(采用机械泵抽真空)。

左端法兰:安装有不锈钢针阀,φ6.35的进气口。

右端法兰:KF40真空泵接口φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准)。

可选

此管式炉需定期校准,以保证温度的准确性和均匀性,我们可提供简单的校准工具:

11200mmK型铠装热偶。

1Omega温度校准仪表。

此型号管式炉只可选机械泵,且顶真空度只能够抽到-0.05MPa,否则可能正常炉管损坏。

4~8晶片石英支架。

可与手套箱系统联用,实现氧敏感性材料的烧结制备。


电压

三相380V50/60Hz

额定功率

20KW

产品尺寸

2300 L×1500 W×1400 H mm


净重

300Kg

质保期

一年质保期,终生维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

质量认证

CE认证。

所有电器元件(输入电源大于24V)都通过了UL/MET/CSA

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