OTF-1100X-15-III 1100℃电动开启式三温区管式炉(15英寸石英炉管)OTF-1100X-15-III
产品简介
详细信息
OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制,可设置30段升降温曲线,带有超温和短偶保护,控温精度为+/-0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。
技术参数
名称 OTF-1100X-15-III 炉体结构 双层壳体结构,并带有风冷系统,壳体表面温度低于70℃。 采用氧化铝纤维作为炉膛材料。 加热元件:Sic棒。 设备中配有2个氧化铝管堵,以保障炉膛内部温度均匀性(炉体加热前,管堵必须放入炉管内部)。 此管式炉可作为退火或扩散管式炉(6英寸或8英寸晶片可用特殊使用支架装载)。 电动开启式设计,使得用户操作更加简便。 结构图 氧化铝管堵 结晶装载 电动开启 加热区 总加热区长度:1000mm 三个加热区:330mm+330mm+330mm(12” per zone) 工作温度 工作温度:1100℃。 加热速率:10℃/min。 加热元件:Sic棒(36根) 温控系统 控温精度为:±0.5℃ 炉管 15英寸高纯石英炉管:尺寸:400mm O.D×388mm I.D×1860mm L。 注意:石英炉管易碎,操作需谨慎。 真空密封&法兰 一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可是炉管真空度达到10∧-3torr(采用机械泵抽真空)。 左端法兰:安装有不锈钢针阀,φ6.35的进气口。 右端法兰:KF40真空泵接口φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准)。 可选 此管式炉需定期校准,以保证温度的准确性和均匀性,我们可提供简单的校准工具: 1根1200mm的K型铠装热偶。 1个Omega温度校准仪表。 此型号管式炉只可选机械泵,且顶真空度只能够抽到-0.05MPa,否则可能正常炉管损坏。 4”~8”晶片石英支架。 可与手套箱系统联用,实现氧敏感性材料的烧结制备。 电压 三相380V,50/60Hz 额定功率 20KW 产品尺寸 2300 L×1500 W×1400 H mm 净重 300Kg 质保期 一年质保期,终生维护(不包含炉管,加热元件和密封圈) 质量认证 CE认证。 所有电器元件(输入电源大于24V)都通过了UL/MET/CSA 免责声明 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。