高温应用质量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列
产品简介
详细信息
概要
SEC-8000F/D/E 系列, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。
特征
- 具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度：±1.0% 设定流量.
- 超快速响应
- 超洁净处理
- 满足RoHS 环境标准
規格
Specifications of SEC-8000 F/D/E Series
SEC-8000F/D/E 系列, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。
Specifications of SEC-8000 F/D/E Series