CYG512超薄形压力传感器
产品简介
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CYG512型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中,风洞中超薄形模型上下表面压力场分布设计的,是CYG511的改进型。尤其适用于缩模径向尺寸较大,厚度很小,不能或不容易挖坑贴埋,只能贴于表面的工况设计的。1mm左右的厚度使其对流场的影响减小到很小的程度。
CYG512使用了CYG511同样的*的硅硅直接键合的压力敏芯片,具有很优良的静态力学特性。由于精密设计与加工的封装结构在将总厚度缩小到1mm左右的同时,也就大大减小了敏感元件与传感器进压壳体封装空间的容积,将浅型管腔对动态频响的影响减至最小,因此它具有优良的动态特性。
CYG512标准压力量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000ka。
CYG512的有两种外形尺寸,一种为薄扣形,ф8 mm直径,总厚度为1.2 mm;一种为薄条片形,6×10×1mm引出线均为4mm宽,0.15mm厚,1m长柔性引线。薄扣形为不锈钢结构,上表面超薄不锈钢薄膜上有激光钻刻的均布式和螺旋线形进气筛孔。薄条式无顶盖,仅在贴装敏感元件处复盖很薄的有机硅保护膜,用户可接自己的实用工况需求进行选择。
1、性能指标参数:
指标/档级 | 非线性精度 ±%FS | 迟滞重复性 %FS | 零位温度系数 ×10-4FS /℃ | 灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃ | 零位时漂 <mv/8h |
JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、满量程输出: 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、输入输出阻抗:最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、输入工作电流:1.5 mA(表压型) 1mA(绝压型)(恒流源)
5、工作温度范围:-55℃~+120℃
6、补偿温度范围:-10℃~+80℃
7、过载能力: 额定量程的200%
8、加速度灵敏度:<0.001%FS/g
9、外形尺寸图: