CYG503、504微型压力传感器
产品简介
详细信息
标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中，要求安装尺寸小，不扰动流场，动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定。
CYG503的压力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工，精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至1.5mm以下的径向尺度。*的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术，密封封装在特制的微型安装基座和不锈钢毛细管中。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔，表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。
CYG503A绝压型微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，特制的短柱形CYG503AS将长度缩短为12mm。可选量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa压力。
CYG503G表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，背压引出毛细管长为12mm。可选量程为160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表压力。
CYG503的设计制作已获得国家发明、号为：.3。
CYG504微型螺栓安装型压力传感器是为方便一些用户使用要求的CYG503的衍生品种，绝压、表压均可。它的外形尺寸见附图。
CYG503、504型传感器由于用敏感元件正面承压，因此，它仅适用于介质为无腐蚀性，不导电性的干燥气体。但它有相当宽的工作温区和非常好的动态频响。可使用的动态频响低至零频、高至数十千赫兹。表面增加涂复保护可改善介质适用能力，但以牺牲频响特性为代价。
1、性能指标参数
| 指标/档级 | 非线性精度 ±%FS | 迟滞重复性 %FS | 零位温度系数 ×10-4FS /℃ | 灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃ | 零位时漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、满量程输出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、输入输出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、输入工作电流：1.5mA（表压型）1mA（绝压型）（恒流源）
5、工作温度范围：-55℃～+120℃
6、补偿温度范围：-10℃～+80℃
7、过载能力： 额定量程的200%
8、加速度灵敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸图：
