便携式半导体材料气体检测器XP-703DⅢ
产品简介
详细信息
便携式半导体材料气体检测器XP-703DⅢ
检测对象
H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度
1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
应用行业
半导体制造
01.便携式气体检测器产品特点
小型·轻量
可以检查非常微量的气体泄漏
适合氢气相关设备的安全防护
搭载的泵有自动停止功能
搭载[自动气体排气模式]功能
保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时
02.便携式气体检测器产品用途
半导体工厂/石油化学工厂等
在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.便携式半导体材料气体检测器XP-703DⅢ产品参数
半导体行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。
有机类有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱类有：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。在半导体行业中造成环境污染的有害气体，主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。
半导体行业主要是元器件组装焊接过程中对大气的污染和电路板等器件清洗等表面处理过程中因使用一些化学药剂（如硫酸、盐酸、氟氯化碳、、三氯乙烷及其他有机卤化物）挥发造成对大气环境的污染，以及整机装配过程中产生的机械噪声和少量粉尘也会造成环境污染，这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。
半导体常见有毒气体：
