ST2258A 数字式四探针测试仪,半导体材料的电阻率测试仪
产品简介
详细信息
本测试仪特赠设测试结果分类功能,*大分类10类
仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。
基本技术参数
1. 常规测量范围、分辨率(量程可向上或下扩展1~2个数量级)
电 阻: 1.0×10-4 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω
电 阻 率: 1.0×10-4 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ~ 0.1×103 Ω-cm
方块电阻: 1.0×10-3 ~ 200.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ~ 0.1×103 Ω/□
2. 可测半导体材料尺寸
直 径: 测试台直接测试方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
长(或高)度: 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程划分及误差等级
量程 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
基本误差 | ±2%FSB±4LSB | ±1.5%FSB±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB |
也可扩展量程:
量程 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 |
kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | |||||
基本误差 | ±1.5%FSB±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB±4LSB |
4) 工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5) 外形尺寸:W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
净 重:≤1kg
净 重:≤1kg