JC0268 XPS-7半导体材料气体检测仪
产品简介
详细信息
- 产品特点
- 产品参数
-
一、产品介绍
1、只要更换传感器单元就可以检测各对象气体。
2、用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
3、可以大幅度削减本钱和维护时间。
二、产品参数
型号
XPS-7
检测原理
定电位电解式
检测气体对象
半导体材料气体
丈量范围
根据规格
分解能
全量程的百分之一表示
指示精度
FS±10%以内
报警模式
2段报警方式
报警方式
蜂叫器(断续音)、报警灯闪烁
应答时间
60秒以内(60%应答)
电源
5号碱性干电池4节或AC专用变压器
电池使用时间
连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时）
外型尺寸
W62×H150×D128mm(突出部分除外)
检测方式
泵吸引式
使用温度范围
0℃～40℃
重量
约1.3kg
附件
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张
选购件
AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件
三、检测气体表：
对象气体一览表
型号
气体
F.S
型号
气体
F.S
型号
气体
F.S
XDS-7NH
NH3
100ppm
XDS-7GH
GeH4
1ppm
XDS-7HS
H2S
50ppm
XDS-7SH
SiH4
25ppm
XDS-7CL
CL2
5ppm
XDS-7CO
CO
250ppm
XDS-7DC
SiH2CL2
25ppm
XDS-7CF
CLF3
1ppm
XDS-7DS
Si2H6
25ppm
XDS-7AH
AsH3
250ppb
XDS-7HC
HCL
25ppm
XDS-7F2
F2
5ppm
XDS-7PH
PH3
1ppm
XDS-7HF
HF
10ppm
XDS-7OZ
O3
1ppm
XDS-7BH
B2H6
500ppb
XDS-7HB
HBr
10ppm
XDS-7SE
H2Se
250ppb
XDS-7NO
NO
100ppm
-
型号
XPS-7
检测原理
定电位电解式
检测气体对象
半导体材料气体
丈量范围
根据规格
分解能
全量程的百分之一表示
指示精度
FS±10%以内
报警模式
2段报警方式
报警方式
蜂叫器(断续音)、报警灯闪烁
应答时间
60秒以内(60%应答)
电源
5号碱性干电池4节或AC专用变压器
电池使用时间
连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时）
外型尺寸
W62×H150×D128mm(突出部分除外)
检测方式
泵吸引式
使用温度范围
0℃～40℃
重量
约1.3kg
附件
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张
选购件
AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件
三、检测气体表：
对象气体一览表型号
气体
F.S
型号
气体
F.S
型号
气体
F.S
XDS-7NH
NH3
100ppm
XDS-7GH
GeH4
1ppm
XDS-7HS
H2S
50ppm
XDS-7SH
SiH4
25ppm
XDS-7CL
CL2
5ppm
XDS-7CO
CO
250ppm
XDS-7DC
SiH2CL2
25ppm
XDS-7CF
CLF3
1ppm
XDS-7DS
Si2H6
25ppm
XDS-7AH
AsH3
250ppb
XDS-7HC
HCL
25ppm
XDS-7F2
F2
5ppm
XDS-7PH
PH3
1ppm
XDS-7HF
HF
10ppm
XDS-7OZ
O3
1ppm
XDS-7BH
B2H6
500ppb
XDS-7HB
HBr
10ppm
XDS-7SE
H2Se
250ppb
XDS-7NO
NO
100ppm