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通用设备阀门真空阀

EVB 电动真空阀

供应商:
喜开理(中国)有限公司
企业类型:
其他

产品简介

【停产产品】代替产品:IAVB系列通过马达驱动调整阀的开度,实现了多种导率的电动真空阀。行业半导体制造工序(前工序)半导体制造工序(后工序)

详细信息

【马达驱动,30点开度设定】
根据外部信号通过马达驱动调整开度。
最小间距0.15mm(NW25时)。
简易的导率可变系统及真空控制的自动化。

【开度监视功能、各种信号输出功能】
内置编码器,可监视当前开度。
具备阀开、阀闭状态的动作完成信号、报警输出功能,使用更放心。

型号 名称 配管方式 备注
EVB※17电动真空阀NW25, 40, 502021年03月31日
销售中止
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