XPS-7 半导体材料气体 半导体毒气报警仪/分析仪、全量程的百分之一表示、指示精度 FS±10%以内
产品简介
详细信息
特点：
只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。
用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
可以大幅度削减成本和维护时间。
只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。
用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
可以大幅度削减成本和维护时间。
| 型 号 | XPS-7 |
| 检测原理 | 定电位电解式 |
| 检测气体对象 | 半导体材料气体 |
| 测量范围 | 根据规格 |
| 分 解 能 | 全量程的百分之一表示 |
| 指示精度 | FS±10%以内 |
| 报警模式 | 2段报警方式 |
| 报警方式 | 蜂鸣器(断续音)、报警灯闪烁 |
| 应答时间 | 60秒以内(60%应答) |
| 电 源 | 5号碱性干电池4节或AC专用变压器 |
| 电池使用时间 | 连续12小时以上(使用碱性干电池无报警、20℃时) |
| 外型尺寸 | W62×H150×D128mm(突出部分除外) |
| 检测方式 | 泵吸引式 |
| 使用温度范围 | 0℃～40℃ |
| 重 量 | 约1.3kg |
| 附 件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张 |
| 选 购 件 | AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件 |
检测气体一览表：
对象气体一览表 | ||||||||
| 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
| XDS-7NH | NH3氨气 | 100ppm | XDS-7GH | GeH4 锗烷 | 1ppm | XDS-7HS | H2S 硫化氢 | 50ppm |
| XDS-7SH | SiH4 硅烷 | 25ppm | XDS-7CL | CL2 氯气 | 5ppm | XDS-7CO | CO 一氧化碳 | 250ppm |
| XDS-7DC | SiH2CL2 二氯二氢硅 | 25ppm | XDS-7CF | | 1ppm | XDS-7DS | Si2H6乙硅烷 | 25ppm |
| XDS-7AH | | 250ppb | XDS-7HC | HCL | 25ppm | XDS-7F2 | F2 氟气 | 5ppm |
| XDS-7PH | PH3 | 1ppm | | | 10ppm | XDS-7OZ | O3 臭氧 | 1ppm |
| XDS-7BH | | 500ppb | XDS-7HB | HBr 溴化氢 | 10ppm | | ||
| XDS-7SE | H2Se 硒化氢 | 250ppb | XDS-7NO | NO 一氧化氮 | 100ppm | |||