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应用七、氦质谱检漏仪真空焊接炉检漏 （江苏无锡某设备厂）

一、真空焊接炉检漏原因
真空焊接炉 (vacuum brazing furnace) 使用 Pfeiffer 普发罗茨泵机组 (DUO 250 + WKP2000) 抽真空，要求真空度需要到达 1x10-5 mbar 左右真空环境下才能有效工作，不能达到真空度，或者抽速较慢，都有可能是由于存在漏点所致，故对于真空焊接炉的检漏尤为必要。

二、真空焊接炉检漏方法
Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式，正压模式(sniffer mode) 及负压模式 (vacuum mode)， 真空焊接炉多采用检漏仪的负压模式即真空模式检漏，将氦质谱检漏仪与真空系统连接，连接在排气口附近（也就是泵组的进气口处），真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的运动方向上，很容易有一部分分压分给氦质谱检漏仪，从而达到检漏的效果。

如图氦质谱检漏仪真空焊接炉检漏应用：




三、 真空焊接炉检漏形式说明
使用氦质谱检漏仪真空模式检测真空焊接炉是业界所采用的泛的检测方法，真空焊接炉使用真空系统抽真空, 氦质谱检漏仪连接在真空炉的排气端，由于气流都会走向真空系统，如果喷氦气有漏的话，都会经过检漏仪抽气口，氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化，从而达到测量效果。

应用八、氦质谱检漏仪高压真空断路器检漏（辽宁沈阳某变压器厂）

一、 高压真空断路器检漏原因
高压真空断路器（high voltage vacuum switchgear）要保证产品性能可靠和稳定，还要考虑到对人造成的危害，所以一定要进行测漏；以前高压真空断路器的检漏方法为 SF6 检漏，但是成本和气体消耗都很高，并且如果有泄露的话对环境会产生污染，如果和水气混合的话会形成高腐蚀性溶剂，所以使用氦质谱检漏仪可以避免以上问题。如果使用氦气回收系统，则会大大降低使用成本。为现今广泛使用的测漏方法。

二、 高压真空断路器检漏方法
Pfeiffer HLT560 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式：正压模式（sniffer mode）及真空模式（vacuum mode）。一般来说，高压真空断路器普遍采用 sniffer 模式。检测时必须对开关容器内进行抽真空，排出里面的水蒸气和其它杂质，然后冲入一定压力的氦气，氦质谱检漏仪使用 Sniffer 模式，报警值设定在 1.0 x10-5 mbar l/s。当然，这里的示踪气体为 He4。在实际测漏过程中，如果高压真空断路器有漏的话，氦气检漏仪的吸枪在靠近时数值会明显变化，并超过设定值，确认有漏。

启动氦气回收系统-----氦气充入被检工件----检漏仪吸枪对工件找漏点。






三、高压真空断路器检漏形式说明
该方法检漏操作简单，氦气可回圈利用，首先将高压真空断路器内的空气用真空泵抽出，到达真空度约为 1.0 x10-2 mbar 即可，然后充入纯氦气，压力到达 1.5 bar 左右即高于一个大气压（目的是使高压真空断路器内外形成压差，便于检漏）。检漏结束后通过氦气回收系统回收氦气，需要注意的是这种检漏方式对氦气回收系统的气密性提出了很高的要求，若该系统有漏，会影响到氦质谱检漏仪对被检工件的读数，因此要求检漏的场所必须通风效果良好。氦气回收系统工作性能可靠的话会有 95% 的氦气可回收再利用，大大降低了使用成本。

应用九、氦质谱检漏仪真空渗碳炉检漏应用（江苏昆山某热处理厂）

一、真空渗碳炉检漏原因
真空渗碳炉 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精机（shinko seiki）罗茨泵机组(SR-75BⅡ+ SMB-C15) 抽真空，要求真空度需要到达 1x10-3 mbar 左右真空环境下才能有效工作，
由于渗碳处理需要温度大约 900℃ 下进行，如果密封不好的话工件很容易氧化，造成整炉的工件保费，损失巨大。所以真空渗碳炉的密封性非常重要，检漏非常关键。

二、真空渗碳炉检漏方法
Pfeiffer HLT560 氦质谱检漏仪提供两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正压模式 (sniffer mode)，真空渗碳炉多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏，将氦质谱检漏仪与真空系统连接，连接在排气口附近（也就是真空泵组的进气口处），真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的流向上，很容易有一部分分压分给氦质谱检漏仪，从而达到检漏的效果。

如图氦质谱检漏仪检漏示意：

Pfeiffer 氦质谱检漏仪连接在机械泵组的进气口处，首先启动泵组，对渗碳炉抽真空，同时启动氦质谱检漏仪，此时质谱检漏仪上面的 Pfeiffer EVB 025 角阀一定处于关闭状态，当泵组抽真空到达一定真空度（背压为 25 mbar业界）时，可以进行检漏操作。



检漏工作准备就绪，泵组抽真空到达一定真空度后，氦质谱检漏仪为待机状态，EVB 025 角阀处于关闭状态，此时可以按下检漏仪启动键，氦质谱检漏仪开始测漏，然后慢慢开启角阀，观察漏率值的变化，由于检漏仪和真空渗碳炉的腔体联通，有真空度的变化，所以漏率值也会产生变化，等到漏率值平稳，再将角阀慢慢开到，等待数值稳定，可以喷氦气进行检漏。

当喷氦气后氦质谱检漏仪显示漏率值超过设定值，并且有明显的报警声音，表明此处有漏点，然后在漏电处做标记，在进行其他部位的检漏。

当检测中找到漏电后，由于有氦气进入真空系统，所以漏率值会缓慢上升，为了更快速检测下一个漏电，可以按下显示幕左下方的 ZERO 键，对检漏仪进行本底清零，随即可以查找下一个漏点，达到节省时间的效果。

三、真空渗碳炉检漏形式说明
使用氦质谱检漏仪真空模式检测大型真空炉是业界所采用的泛的检测方法，真空焊接炉使用真空系统抽真空，氦质谱检漏仪连接在真空炉的排气端，由于气流都会走向真空系统，如果喷氦气有漏的话，都会经过检漏仪抽气口，氦质谱检漏仪检测到氦气后就可以在漏率上有一个变化，从而达到测量效果。